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Analizador de microsistemas MSA-650 IRIS

El innovador y patentado analizador de microsistema MSA-650 IRIS permite medir la verdadera dinámica de MEMS al caracterizar los movimientos en el plano y fuera del plano a través de la encapsulación de silicio sin contacto, sin necesidad de preparar ni desencajar el dispositivo.

Descripción

Caracterización óptica de la dinámica en MEMS con tapa de Si

La visualización de la respuesta dinámica es clave para probar y desarrollar dispositivos MEMS. Esto es indispensable para validar los cálculos de FE y determinar los efectos de la diafonía.

El innovador y patentado analizador de microsistema MSA-650 IRIS permite medir la verdadera dinámica de MEMS al caracterizar los movimientos en el plano y fuera del plano a través de la encapsulación de silicio sin contacto, sin necesidad de preparar ni desencajar el dispositivo.

El paso de la limitación de MEMS en los procesos de fabricación puede resultar en estrés adicional, lo que podría alterar el rendimiento del dispositivo. Por lo tanto, es necesaria e indispensable una caracterización completa del dispositivo MEMS en su estado final y encapsulado.

  • La separación superior de las capas de dispositivos individuales en MEMS con límite ofrece el verdadero comportamiento dinámico de MEMS
  • Extracción de datos de movimiento en tiempo real incluso de MEMS con tapa de Si de estructura compleja
  • Datos modales de alta resolución hasta 25 MHz
  • Validación directa del modelo FE de MEMS en estado final
  • El microscopio IR de alto rendimiento integrado permite medir a través de paredes de Si
  • Modo de medición de microscopio de video que revela movimiento en el plano de hasta 2.5 MHz
  • Formatos de exportación de datos estándar para datos modales, gráficos y video para postprocesamiento directo

Prueba modal de MEMS encapsulados en silicio

Vibrometría Láser-Doppler (LDV) es una técnica bien establecida para estudiar la dinámica mecánica de MEMS con la máxima exactitud. Sin embargo, la mayoría de los vibrómetros láser funcionan en longitudes de onda visibles para las cuales la encapsulación de silicio es opaca e inhibe la inspección MEMS. Por lo tanto, la prueba de LDV de dichos MEMS a través de longitudes de onda visibles requiere MEMS no encapsulados o desencapsular el dispositivo.

Con una cámara IR dedicada y una fuente SLD de baja coherencia, el MSA-650 IRIS es el primer sistema de medición del mundo con esta tecnología para medir la vibración en el plano en MEMS de silicio encapsulado con una resolución de hasta 30 nm y fuera de tiempo en tiempo real, vibraciones de plano de hasta 25 MHz con resolución de picómetro e inferior.

La nueva tecnología de interferómetro de Polytec ahora ofrece una calidad de datos suprema debido a la separación superior de las capas de dispositivos individuales en los dispositivos MEMS tapados.

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