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Analizador de microsistemas MSA-600

El analizador de microsistemas MSA-600 es la estación de trabajo de medición óptica todo en uno para caracterizar la topografía de la superficie, así como los movimientos en el plano y fuera del plano.

Descripción

Medición de la respuesta dinámica y la topografía de MEMS y microestructuras

La topografía de la superficie y el análisis y la visualización del movimiento dinámico son clave para probar y desarrollar microestructuras como los dispositivos MEMS (sistemas microelectromecánicos). Son indispensables para validar los cálculos de FE, determinar los efectos de diafonía y medir la deformación de la superficie.

El analizador de microsistemas MSA-600 es la estación de trabajo de medición óptica todo en uno para caracterizar la topografía de la superficie, así como los movimientos en el plano y fuera del plano.

Las versiones MSA-600-M / V cubren rangos de frecuencia de hasta 25 MHz, ideales para MEMS, micrófonos MEMS y otros microsistemas. Las versiones MSA-600-X / U cubren el rango de frecuencias altas y muy altas hasta 2.5 GHz, perfectas para la evaluación de resonadores HF MEMS, dispositivos microacústicos como SAW, BAW y más.

  • Estación de trabajo de medición óptica todo en uno para microestructuras
  • Medición de la respuesta en tiempo real (no se requiere procesamiento posterior)
  • Versiones MSA-600-M / V con hasta 25 MHz
  • Versiones MSA-600-X / U con hasta 2,5 GHz
  • Resolución de desplazamiento sub-pm incomparable
  • Medición y visualización rápidas de formas de deflexión
  • Operación sencilla e intuitiva
  • Sistema automatizado para una fácil integración en estaciones de sonda
  • Opciones de importación / exportación para la validación del modelo FE

Solución de medición óptica todo en uno para MEMS

El analizador de microsistemas MSA-600 ofrece una mayor flexibilidad y exactitud de medición, adaptándose a las necesidades de las microestructuras actuales y futuras.

El MSA-600 proporciona datos precisos de respuesta 3D dinámica y estática que aumenta el rendimiento del dispositivo al tiempo que reduce los costos de desarrollo y fabricación. Por lo tanto, mejora y acorta los ciclos de diseño, simplifica la resolución de problemas y mejora el rendimiento.

El vibrómetro láser Doppler de alto rendimiento ofrece una medición de respuesta rápida en tiempo real con una resolución de desplazamiento sub-pm. Y la opción de interferómetro de luz blanca proporciona millones de datos de superficie 3D en segundos.

Complementado por su operación sencilla y su interfaz de usuario intuitiva, el MSA-600 es la poderosa solución de medición óptica en investigación, desarrollo (I + D) y control de calidad (QC). Compatible con estaciones de sonda comunes, el analizador de microsistemas lo ayuda en todas las etapas del desarrollo, desde la creación de prototipos MEMS hasta las pruebas y la resolución de problemas, y por lo tanto lo ayuda a reducir los costos de producción y también acortar el tiempo de comercialización.

Hoja de Datos MSA-600  

Hoja de Datos MSA-600-X/U 

Folleto MSA-600 

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